La evaluación de la calidad de los patrones

Question

La fotolitografía, sería de nuevo en nuestro instituion y yo no podía pedir a los expertos que hay sobre ella, es por eso que me volví aquí.

He creado un fotomáscaras el uso de un electrolithograpy proceso y ahora estoy atascado en la forma de evaluar CUANTITATIVAMENTE la calidad física de la máscara. He buscado en google que puedo comprobar la consistencia del tamaño de la paterns (tamaño digital impreso tamaño de la máscara), eso es todo lo que sé, ¿qué más debo comprobar? Cualquier ayuda sería appeciated.

Editar

Nosotros vamos a usar la máscara en contack uv fotolitografía para crear stuctures en el sustrato de silicio en el rango micrométrico. Por el momento, google han mostrado resultados en la evaluación de las máscaras basadas en lo bueno que es para la producción de stuctures. pero pocas resultado mostrará cómo evaluar un fotomáscaras antes de la creación de las estructuras.

Answer 1

La forma más sencilla para evaluar la máscara es sólo para que lo inspeccione visualmente, como dices que ya lo han hecho. Asegúrese de echar un vistazo a la crítica (es decir, la más pequeña) características de la máscara se ve cómo espera. Con un buen microscopio de luz con alta NA objetivo, usted puede obtener sub-micras de resolución en las imágenes ópticas.

Otra de las cosas que usted puede comprobar si realmente quieres profundizar en la evaluación de la calidad de la máscara es para medir la consistencia de la altura de sus características. Si las características de la máscara no presione contra el resistir de manera uniforme a través de toda la oblea, algunas áreas de la oblea podría quedar expuestos de manera desigual. Usted puede mirar esto con un perfilómetro o incluso SEM si usted quiere conseguir realmente en la maleza.

Dicho esto, la prueba en el proceso real es la mejor manera de examinar la calidad. En mi experiencia, yo por lo general tienen que exponer un par de pruebas obleas para optimizar el tiempo de exposición de todos modos, por lo que este proporciona un built-en la prueba de la máscara. Tener una exposición redes con diferentes características de tamaño puede hacer este proceso un poco más fácil.