Como se indica en Principios de las descargas de plasma y el procesamiento de materiales por M. A. Lieberman y A. J. Lichtenberg, sobre plasmas acoplados capacitivamente :
(...) las partículas cargadas ligeras y pesadas en las descargas de procesamiento a baja presión casi nunca están en equilibrio térmico, ni entre ellas ni con su entorno. o con su entorno. Debido a que estas descargas son accionadas eléctricamente y están débilmente ionizadas, la potencia aplicada calienta preferentemente los electrones móviles, mientras que los iones pesados intercambian energía eficazmente mediante colisiones con el gas de fondo.
Ver también esta respuesta a una pregunta relacionada . Esta diferencia en la fuerza de acoplamiento se da como una razón para la diferencia entre la temperatura de los electrones y la temperatura de los iones:
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Sin embargo, no veo muy bien la razón de esta diferencia en la fuerza de acoplamiento. ¿Por qué un campo eléctrico oscilante transfiere energía de forma menos eficiente a los iones que a los electrones?
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Estos plasmas no están en equilibrio porque no se les dio el tiempo suficiente para entrar en equilibrio. No es una cuestión de acoplamiento, sino de no dejar que el sistema pase por el proceso de relajación.
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@CuriousOne Pero si no se trata del acoplamiento, entonces ¿cuál es la razón de que la temperatura de los electrones sea mayor que la de los iones en un CCP?
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Justo lo que dije: los electrones no tuvieron suficiente tiempo para interactuar con los iones. Si excitas un plasma de este tipo y está en un volumen suficientemente grande y dejas que los electrones interactúen el tiempo suficiente con los iones, entonces ambas temperaturas serán, finalmente, las mismas. El acoplamiento es el mismo, por cierto. La fuerza de un campo eléctrico sobre una carga unitaria es exactamente la misma, ya sea positiva o negativa. Los electrones sólo tienen una masa mucho menor, por lo que se acelerarán a una mayor velocidad que los iones, y es la distribución de la velocidad la que establece la temperatura.
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@CuriousOne Aah, ese era exactamente mi punto de confusión. Pasé por alto que lo que importa para la temperatura es la velocidad, no la energía cinética. Gracias.
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No hay problema... me tomó un tiempo antes de hacer clic en lo que hace la diferencia real. Mi clase de física del plasma fue hace mucho tiempo... :-)
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@Jeff - La eficiencia de la transferencia de energía/momento hacia/desde partículas desde un campo eléctrico oscilante depende fuertemente de la frecuencia relativa al ciclotrón y/o la frecuencia del plasma de la especie dada. Por ejemplo, las ondas híbridas inferiores son muy eficientes en la transferencia de energía/momento entre iones y electrones. Por lo tanto, interactúan con ambas especies, ¡no sólo con los electrones!