SUGERENCIA:
Escribir
$$\begin{align}
e^{-x^2/2}\cos(ax)&=\text{Re}\left(e^{-x^2/2+iax}\right)\\\\
&=e^{-a^2/2}\text{Re}\left(e^{-\frac12(x-ia)^2}\right)\tag 1
\end{align}$$
Explotar la uniformidad del integrando, el uso de $(1)$, traducir el argumento por el cumplimiento de la sustitución de $x-ia \to x$, deforman el contorno de la espalda a la verdadera línea de la explotación de Cauchy de la Integral Teorema, evaluar el resultado integral de Gauss, y tomar la parte real.
ALERTA de SPOILER: el cursor sobre el área resaltada para revelar la solución
Por lo tanto, $$\begin{align}\int_0^\infty e^{-x^2/2}\cos(ax)\,dx&=\frac12 e^{-a^2/2} \int_{-\infty}^\infty \text{Re}\left(e^{-\frac12(x-ia)^2}\right)\,dx\\\\&=\frac12 e^{-a^2/2} \text{Re}\left(\int_{-\infty}^\infty e^{-\frac12(x-ia)^2}\,dx\right)\\\\&=\frac12 e^{-a^2/2} \text{Re}\left(\int_{-\infty-ia}^{\infty-ia} e^{-\frac12 x^2}\,dx\right)\\\\&=\frac12 e^{-a^2/2} \text{Re}\left(\int_{-\infty}^{\infty} e^{-\frac12 x^2}\,dx\right)\\\\&=\frac12 \sqrt{2\pi }e^{-a^2/2}\end{align}$$como iba a ser mostrado!