Esta será una "Meta" respuesta referida a las otras respuestas para corregir algunos conceptos erróneos.
Durante VLSI la fabricación de diferentes resoluciones de la litografía se utilizan en los diferentes niveles y SÓLO a los más modernos y la mayoría de los detalles más finos se utilizan en la PUERTA de nivel de definición. Incluso en los pasos anteriores a la Poli Silicio definición se realiza con los mayores de la litografía de herramientas (como el área activa de la definición de ITS - LOCOS etc.).
La razón es muy sencilla, ¿por qué el uso de la más avanzada (y por lo tanto más caro), el uso de herramientas de la mayoría de los caros máscaras para definir las capas que inherentemente necesitan menos resolución?
De hecho, la parte superior de Metal tiende a ser muy gruesa, para apoyar a más de corriente para prevenir electro-migración y reducir la resistencia de los rieles de potencia.
Por ejemplo, en un giro de 180 nm proceso de la puerta se define mediante KrF láser basado en litografía @ 248 nm con una 5X cambio de fase de la máscara. Esto también se utiliza para los contactos. Metal 1 podría ser hecho en un paso a paso de lo que es el uso de i-line @ 365nm y también una 5X máscara, pero con ninguna de las fases de corrección aplicados.
El punto es, capas de la parte superior del chip son mucho resolución mucho menor y mucho tono más alto de lo que el proceso está "definido como" -, e incluso a la definición obtiene funky mucho tiempo.
La parte superior de metal podría ser tener un mínimo de características de tamaño tan grande como 3um en que 180 nm proceso anterior, he comprobado.
Top Morir pasivación es típicamente Si3N4 o poliimida. Que ha sido eliminado en las fotos.
Así que lo más probable es que esas fotos son en realidad imágenes de luz visible tomadas en un microscopio. Los colores pueden ser debido a que las estructuras de altura son del orden de la longitud de onda de la luz y tienen efectos difractivos. Pero ya no tenemos escala no es seguro para ser definitivo.
Pero podría ser un ElectronMicrograph que ha sido coloreada por "la belleza". No parecen venir de una portada de un libro, y quién sabe lo que el departamento de arte no hay.
Así que no estoy dispuesto a decir que uno de los del otro, que es ya sea óptico o SEM. @W5VO observa que la profundidad de campo parece demasiado grande para la óptica, y estoy de acuerdo. Pero no sabemos escala de aquí, aquellos estructura fácilmente podría ser de 10 micrones dada la época.
Nunca había oído hablar de un electrón microgramo - en virtud de las convenciones de nomenclatura estándar que se traduciría en un "pequeño electrón mensaje" yo también no puede encontrar enlaces a cualquier cosa que mencionar que. Así que me encantaría saber lo que podría ser.