Conceptualmente, la forma de generar una señal de 10 GHz es la misma que la de generar una señal de 1 GHz o 1 MHz, sólo que todos los componentes son más pequeños.
Las arquitecturas estándar de "microondas" siguen siendo válidas: tienes una red resonante (ya sea un cristal, un tanque LC, un resonador de línea de transmisión, un resonador dieléctrico, etc...) y compensas la pérdida dentro de ese resonador con una resistencia negativa (utilizando un dispositivo activo como un transistor o un diodo). Los detalles dependen de cuál sea tu objetivo final. Si quieres una frecuencia fija, puedes utilizar algo como un resonador dieléctrico, un cristal o una línea de transmisión. Estos suelen ofrecer factores de calidad elevados (lo que significa un bajo ruido de fase), pero son imposibles (o al menos difíciles) de sintonizar en un amplio rango.
Cuando se trata de osciladores en chip, creo que una de las arquitecturas de osciladores más comunes es el tanque diferencial-LC. Estos se hacen simplemente con el acoplamiento cruzado de un par de transitores, y cargándolos con un tanque LC.
De este modo, se pueden fabricar osciladores en circuitos integrados de más de 10 GHz. La sintonización puede hacerse sustituyendo (o añadiendo) los condensadores por un condensador dependiente de la tensión.