La velocidad de reacción de cualquier proceso de grabado se ve limitada por la densidad de corriente, el acceso de los reactivos en la zona de reacción y separación de los productos de la reacción de distancia de la zona de reacción. Desde la junta de grabado es esencialmente un plano o dos dimensiones de este proceso a los lugares más límites en el grabado de rendimiento con la entrega de los reactivos y productos de reacción activamente interferir el uno con el otro para el acceso a la superficie.
Aunque siempre presente en los procesos, donde surge el problema está en el diferencial grabe las tasas a través de la junta. Esto puede causar delgadas que las trazas de ser grabados a un ritmo diferente que pistas más amplias. Por ejemplo, el grabado de un alivio de alrededor de una multa de seguimiento dentro de un fondo de un plano de tierra es muy diferente en la carga de grabado de una fina traza sin fondo plano de tierra.
Esto puede ser corregido por asegurar que en el diseño del patrón de densidad se mantiene relativamente constante por unidad de área a través de la junta. Ladrones es una manera de hacer esto. Algunos fabricantes en realidad el lugar de sacrificio de los elementos dentro de los tanques y a un lado de la junta para asegurar el correcto rendimiento de diferentes grosores.
Mezcla y agitación de los tanques durante etch también ayudará a mitigar el diferencial de etch problemas.