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¿Cómo pueden algunos microscopios ópticos medir las diferencias de altura de diferentes planos de muestra con precisión nanométrica?

Yo podría usar la semana pasada de un microscopio óptico, no parecen especiales de alguna manera, 50x ampliación de imagen visible por un CCD de la cámara en la pantalla de un ordenador, además de a través del ocular.

Pero el software de este microscopio había una función para mostrar un 3D calcula la topografía de la vista de la muestra (oblea de silicio con algunos lateralmente estructurado micras de tamaño de 40 nanómetros de alta SiO2 cuadrados). Por lo que en el software se podía ver a la altura de estas plazas (30-50 nm allí, así que algún error) y que también hacer virtual perfilómetro más de estas plazas. Hay estas mediciones de la altura fueron separados por el verde, el rojo, el azul, así que 3 líneas que muestran un 30-40 nm diferencia de silicio a un SiO2 plaza.

El manual no explica por qué la física de trabajo, puede que haya alguien aquí una idea de cómo podría funcionar esto. Parecía un hoteles normal microscopio, supongo que se utiliza de alguna manera el CCD de datos y refleja la intensidad de los cuadrados, la altura de las grandes plazas fue más precisa de medir o extrapolado de cuadros pequeños.

También puedo excluir es un Normaski microscopio

http://en.wikipedia.org/wiki/Differential_interference_contrast_microscopy

no hubo polarisators o prismas en el interior del microscopio.

https://snf.stanford.edu/SNF/equipment/characterization-testing/zygo/Zygo

Esta técnica parece venir cerca, la interferometría de luz blanca, pero la resolución es mucho mejor.

Así que puede que alguien me explique cómo esta técnica que se utiliza en este microscopio se llama y lo que la precisión es, lo que limita?

Enlace para el modelo específico https://www.micro-shop.zeiss.com/?s=12128207d6c5cf&l=en&p=us&f=e&i=10247&o=&h=25&n=0&sd=490950-0002-000#490950-0002-000

2voto

Al medir la posición z del escenario en el foco, se puede determinar la altura de los objetos.

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